概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標(biāo)及可靠性完全達到進口同類設(shè)備水平，但價格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進口設(shè)備無法比擬的。

主要特點：

采用進口PP板制作。

適用2-6寸硅片清洗。

超聲功率強勁，性能穩(wěn)定。